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測量機器

• MCPD series 嵌入式膜厚測試型
  

  本公司的MCPD series，由于采用柔軟纖維的事，從In-Situ到內聯各種各樣的地方和用途的編入成為可能。測量原理為分光干涉方式，在實現高測量再現性的同時，還支持多層厚度測量。通過采用獨自算法，可以高速實時監控。...
• OPTM series 嵌入型
  

  利用顯微微分光膜厚計OPTM series的高精度、微小光點，在線提供制作晶片圖案后的微小區域測量等膜厚信息。...
• 多通道光譜儀 MCPD-9800 / 6800
  

  產品信息 特長 應用廣泛的測量儀。 以最高機型MCPD-9800為首，一共有3種對應12波長領域的測量儀。 我們可以根據客戶的需求和用途提出最適合的方案。 不同評價方法對應不同設備 ◎...
• 彩色濾光片、彩色光刻膠測量裝置 LCF SERIES
  

  產品信息 特點 以透過光譜測量、色測量為代表，通過濃度測量、膜厚測量、反射光譜測量等，可對應彩色濾光片制造工程中的所有檢查的裝置 可用于彩色濾光片的光學特性或玻璃基板...
• Load Port對應膜厚測量系統 GS-300
  

  產品信息 特點 支持集成到 Φ300mm EFEM 單元的備用端口 實現嵌入在晶片中的布線圖案的圖案對齊 支持半導體工藝的高吞吐量要求 支持槽口對齊功能 小尺寸規格 高精度自動校準單元 自動...
• 液晶層間隙量測設備 RETS series
  

  產品信息 特 點 采用了偏光光學系和多通道分光檢出器 有可對應各種尺寸的裝置，從1mm大小的光學素子到第10代的大型基板 安全對策和粒子對策，可對應液晶line內的檢查設備 測量項目...
• 嵌入式膜厚檢測儀
  

  產品信息 特 點 采用分光干涉法 搭載高精度FFT膜厚解析系統（專利 第4834847號） 使用光學光纖，可靈活構筑測量系統 可嵌入至各種制造設備。 實時測量膜厚 可對應遠程操作、多點測量...
• 顯微分光膜厚儀 OPTM series
  

  ●非接觸 · 非破壞 · 顯微、對焦、測量1秒完成 ●OPTM系列顯微分光膜厚儀是一款可替代橢偏儀，測試膜厚、折射率n、消光系數k、絕對反射率的新型高精度、高性價比的分光膜厚儀。適用于各種可透光膜層的測試，并有獨家專利可針對透明基板去除背面反射，從而達到“真實反射率、膜厚”測試的目的。此外，軟件操作簡單、使用方便且簡化了復雜的建模流程。...