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測量機器

• 高速LED光學特性儀 LE series
  

  產品信息 特 點 與產線的控制信號同步 通過光纖的自由的測試系統 實現最短2ms～的光譜測量（LE-5400） 同以往的產品相比，測量、演算、評價1個周期有可到半分鐘以下的高速機型 測量...
• 顯微分光膜厚儀 OPTM series
  

  測量項目：[膜厚、折射率n、消光系數k]. 測量原理：[分光干涉法]. 測量對象：[光刻膠、SiO2、Si3N4等]. 測量范圍：[1nm~92μm]....
• 膜厚量測儀 FE-300
  

  產品信息 特 長 薄膜到厚膜的測量范圍、UV~NIR光譜分析 高性能的低價光學薄膜量測儀 藉由絕對反射率光譜分析膜厚 完整繼承FE-3000高端機種90%的強大功能 無復雜設定，操作簡單，短時...
• 嵌入式膜厚檢測儀
  

  產品信息 特 點 采用分光干涉法 搭載高精度FFT膜厚解析系統（專利 第4834847號） 使用光學光纖，可靈活構筑測量系統 可嵌入至各種制造設備。 實時測量膜厚 可對應遠程操作、多點測量...
• 線掃描膜厚儀【在線型】
  

  采用線掃描方式檢測整面薄膜 硬件軟件均為創新設計 作為專業膜厚測定廠商，提供多種支援 實現高精度測量（已獲取專利） 實現高速測量 不受偏差影響 可對應寬幅樣...
• 分光干涉式晶圓膜厚儀 SF-3
  

  即時檢測 WAFER基板于研磨制程中的膜厚 玻璃基板于減薄制程中的厚度變化 (強酸環境中) 產品特色 非接觸式、非破壞性光學式膜厚檢測 采用分光干涉法實現高度檢測再現性 可進行高速...

• 光波動場三次元顯微鏡
  

  MINUK可評價nｍ級的透明的異物?缺陷，一次拍照即可瞬時獲得深度方向的信息，可非破壞?非接觸?非侵入的進行測量。且無需對焦，可在任意的面進行高速掃描,輕松決定測量位置。
• 相位差測量裝置 RETS-100nx New
  

  產品信息 特 點 采用了偏光光學系和多通道分光檢出器 有可對應各種尺寸的裝置，從1mm大小的光學素子到第10代的大型基板 安全對策和粒子對策，可對應液晶line內的檢查設備 測量項目...
• 橢偏儀 FE-5000/5000S
  

  產品信息 特點 可在紫外和可見（250至800nm）波長區域中測量橢圓參數 可分析納米級多層薄膜的厚度 可以通過超過400ch的多通道光譜快速測量Ellipso光譜 通過可變反射角測量，可詳細分析...
• 線掃描膜厚儀【離線型】
  

  產品信息 特點 全面高速高精度進行薄膜等面內膜厚不均一性檢測 硬件軟件均為創新設計 作為專業膜厚測定廠商，提供多種支援 實現高精度測量（已取得專利） 實現高速測量（500萬點...
• 小角激光散射儀 PP-1000
  

  PP-1000小角激光散射儀，利用小角激光散射法（Small Angle Laser Scattering，簡稱SALS），可以對高分子材料和薄膜進行原位檢測，實時解析。與SAXS和SANS的裝置相比，檢測范圍更廣。利用偏光Hv散射測量可以進行光學各向異性的評價，解析結晶性薄膜的球晶半徑，偏光Vv散射測量可以進行聚合物混合的相關距離的分析。...
• 高速相位差測量裝置 RE-200
  

  產品信息 特 點 可測從0nm開始的低（殘留）相位差 光軸檢出同時可高速測量相位差(Re.) （相當于世界最快速的0.1秒以下來處理） 無驅動部，重復再現性高 設置的測量項目少，測量簡單...
• MCPD series 在線評估測試系統
  

  本公司的MCPD series在線膠卷評價系統，由于光學式非接觸·非破壞的膜厚，濃度，顏色等的檢查可能。可測定膜厚范圍為65nm～92μm和薄膜到厚膜都對應。（折射率1.5時）測量原理為分光干涉方式，在實現高測量再現性的同時，還支持多層厚度測量。由于采用了獨自算法，可以高速實時監控，所以作為在線膠片監控，我們提出了最適合的系統。...
• 線掃描膜厚儀【在線型】
  

  產品信息 特點 采用線掃描方式檢測整面薄膜 硬件軟件均為創新設計 作為專業膜厚測定廠商，提供多種支援 實現高精度測量（已獲取專利） 實現高速測量 不受偏差影響 可對應寬幅樣...

• MCPD series 嵌入式膜厚測試型
  

  本公司的MCPD series，由于采用柔軟纖維的事，從In-Situ到內聯各種各樣的地方和用途的編入成為可能。測量原理為分光干涉方式，在實現高測量再現性的同時，還支持多層厚度測量。通過采用獨自算法，可以高速實時監控。...
• OPTM series 嵌入型
  

  利用顯微微分光膜厚計OPTM series的高精度、微小光點，在線提供制作晶片圖案后的微小區域測量等膜厚信息。...
• 多通道光譜儀 MCPD-9800 / 6800
  

  產品信息 特長 應用廣泛的測量儀。 以最高機型MCPD-9800為首，一共有3種對應12波長領域的測量儀。 我們可以根據客戶的需求和用途提出最適合的方案。 不同評價方法對應不同設備 ◎...
• 彩色濾光片、彩色光刻膠測量裝置 LCF SERIES
  

  產品信息 特點 以透過光譜測量、色測量為代表，通過濃度測量、膜厚測量、反射光譜測量等，可對應彩色濾光片制造工程中的所有檢查的裝置 可用于彩色濾光片的光學特性或玻璃基板...
• Load Port對應膜厚測量系統 GS-300
  

  產品信息 特點 支持集成到 Φ300mm EFEM 單元的備用端口 實現嵌入在晶片中的布線圖案的圖案對齊 支持半導體工藝的高吞吐量要求 支持槽口對齊功能 小尺寸規格 高精度自動校準單元 自動...
• 液晶層間隙量測設備 RETS series
  

  產品信息 特 點 采用了偏光光學系和多通道分光檢出器 有可對應各種尺寸的裝置，從1mm大小的光學素子到第10代的大型基板 安全對策和粒子對策，可對應液晶line內的檢查設備 測量項目...
• 嵌入式膜厚檢測儀
  

  產品信息 特 點 采用分光干涉法 搭載高精度FFT膜厚解析系統（專利 第4834847號） 使用光學光纖，可靈活構筑測量系統 可嵌入至各種制造設備。 實時測量膜厚 可對應遠程操作、多點測量...
• 顯微分光膜厚儀 OPTM series
  

  ●非接觸 · 非破壞 · 顯微、對焦、測量1秒完成 ●OPTM系列顯微分光膜厚儀是一款可替代橢偏儀，測試膜厚、折射率n、消光系數k、絕對反射率的新型高精度、高性價比的分光膜厚儀。適用于各種可透光膜層的測試，并有獨家專利可針對透明基板去除背面反射，從而達到“真實反射率、膜厚”測試的目的。此外，軟件操作簡單、使用方便且簡化了復雜的建模流程。...

• 分光配光測量系統 GP series
  

  產品信息 特殊長度 支持長達 2400 毫米的 LED 照明燈具的光分布測量 還支持有機EL和大型顯示器的光分布測量 可以自動控制2軸測角儀測量每個角度的光譜分布，并通過球帶系數法獲得總...
• 液晶層間隙量測設備 RETS series
  

  產品信息 特 點 采用了偏光光學系和多通道分光檢出器 有可對應各種尺寸的裝置，從1mm大小的光學素子到第10代的大型基板 安全對策和粒子對策，可對應液晶line內的檢查設備 測量項目...
• OPTM series 嵌入型
  

  利用顯微微分光膜厚計OPTM series的高精度、微小光點，在線提供制作晶片圖案后的微小區域測量等膜厚信息。...
• 膜厚測量系統 FE-3700/5700
  

  產品信息 特殊長度 可以高速、高精度地測量各種玻璃基板上各種薄膜的膜厚和光學常數。 除了支持包括下一代尺寸在內的大型玻璃基板外，它還支持 LCD、TFT 和有機 EL。 用法 LCD ITO...
• 彩色濾光片、彩色光刻膠測量裝置 LCF SERIES
  

  產品信息 特點 以透過光譜測量、色測量為代表，通過濃度測量、膜厚測量、反射光譜測量等，可對應彩色濾光片制造工程中的所有檢查的裝置 可用于彩色濾光片的光學特性或玻璃基板...
• 用于透過率/吸光度測量的多通道光譜儀MCPD series
  

  是從紫外到近紅外領域對應的多功能多通道分光檢測器。最短5ms即可進行光譜測量。標準裝置的光纖可支持各種測量系統，而無需確定樣品種類。以顯微分光、光源發光、透射、反射測定為首，通過與軟件的組合，也可以對應物體顏色評價、膜厚測定等。...
• 高靈敏度光譜儀 HS-1000
  

  特點： 采用具有高亮度和色度精度的光譜方法（衍射光柵）， 0.005cd / m 2的超低亮度到400000cd / m 2的高亮度都可測量， 對應CIE推薦的寬波長范圍（355 nm至835 nm） 獨特的光學系統降低了...

• 總光譜光通量測量系統 HM/FM series
  

  產品信息 特點 可處理高達2400mm的直管光學總光通量測量 測量系統符合IESNA的LM-79和LM-80標準 采用新的探測器，可以進行廣動態范圍的測量 測量部分的尺寸（積分球或積分半球）從250毫...
• 紫外分光輻射照度測量系統 New
  

  產品信息 特征 該檢測器 是一種高性能的分光光度計 ，在光源測量、反射/透射測量、過程測量等 方面取得 了 多項成果 。 覆蓋從紫外線到可見光的寬波長范圍 帶軟件的樣品照明電源...
• 紫外分光全光譜光通量測量系統
  

  產品信息 特征 具有高靈敏度檢測器的寬測量范圍 具有紫外線自吸收校正的高精度測量 配備溫度控制單元，可從-110C進行溫度控制 涵蓋從紫外線到可見光的波長范圍 電源、溫控單元、...
• 紫外分光配光測量系統
  

  產品信息 特征 通過分光光度分布對紫外光進行高精度測量 從配光上評估紫外光的最大發光強度、光束開度、光束光通量 涵蓋從紫外線到可見光的波長范圍 支持從 LED 芯片到模塊和應用...
• 分光輻射照度測量系統
  

  產品信息 特殊長度 該檢測器 是一種高性能的分光光度計 ，在光源測量、反射/透射測量、過程測量等 方面取得 了 多項成果 。 覆蓋從紫外線到可見光和可見光到紅外線的寬波長范圍...
• 高速LED光學特性儀 LE series
  

  產品信息 特 點 與產線的控制信號同步 通過光纖的自由的測試系統 實現最短2ms～的光譜測量（LE-5400） 同以往的產品相比，測量?演算?評價1個周期有可到半分鐘以下的高速機型 測量..

• 高感度分光輻射亮度計 HS-1000
  

  特點： 采用具有高亮度和色度精度的光譜方法（衍射光柵）， 0.005cd / m 2的超低亮度到400000cd / m 2的高亮度都可測量， 對應CIE推薦的寬波長范圍（355 nm至835 nm） 獨特的光學系統降低了...
• 量子效率測量系統 QE-2100
  

  產品信息 特 點 測量精度高 可瞬間測量絕對量子效率（絕對量子收率） 可去除再激勵熒光發光 采用了積分半球unit，實現了明亮的光學系 采用了低迷光多通道分光檢出器，大大減少了...
• 高靈敏度近紅外量子效率測量系統 QE-5000 New
  

  產品信息 特殊長度 可以測量0.01%或更低的單線態氧的產生量子產率。 單線態氧 (1270 nm) 的簡單直接光譜觀察 可在用于生物應用等的水性溶劑中測量。 傳統方法難以在輕溶劑中進行測量...