- 產品信息
- 式樣
- 測量實例
特點
可評價nｍ級的透明的異物?缺陷 一次拍照即可瞬時獲得深度方向的信息 無需對焦，可高速測量 可非破壞?非接觸?非侵入的測量 可在任意的面進行高速掃描,輕松決定測量位置
規格
| 分辨率 x , y | 6 9 1n m（ 一次拍照）、4 8 8 n m（ 合成） |
| 視野 x , y | 7 0 0×7 0 0μm |
| 分辨率 z | |
| 視野 z | |
| 樣品尺寸 | 10 0×8 0×t 2 0 mm（安裝通用樣品架時） |
| 樣品臺 | 微動X Y樣品臺（自動） X:±10 mm Y：±10 mm 粗動樣品臺 X：12 9 mm Y：8 5 mm |
| 激光 | 波長 6 3 8 nm 輸出 0 .3 9 mW 以下 C la s s1 ( 對測量樣品的照射強度) |
| 尺寸（長×寬×高）mm | 本體：5 0 5（W）×6 3 0（D）×4 3 9（H） ± 2 0 m m ※不含P C、附屬品 |
| 重量 | 41k g |
| 功耗 | 本體：2 9 0 VA ※不含P C、附屬品 |
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測量例
將肉眼無法看見的透明薄膜表面可視化?定量化
可以非接觸、非破壞性、非侵入性地獲得nm級的形狀信息。通過一次拍照即可獲取深度方向的信息，可以將透明薄膜表面上肉眼不可見的劃痕和缺陷的橫截面形狀數值化實現可視化。
觀察透明薄膜內部的填充劑
肉眼無法看到的透明薄膜內部的填充劑，通過一次拍照即可觀察到。此外，通過在測量后改變深度方向的焦點，可以識別到各個深度的填充劑。
