- 產品信息
- 設備構成
- 測量案例
產品信息
特 點
●采用分光干涉法
●搭載高精度FFT膜厚解析系統（專利 第4834847號）
●使用光學光纖，可靈活構筑測量系統
●可嵌入至各種制造設備。
●實時測量膜厚
●可對應遠程操作、多點測量
●采用壽命長、安全性高的白色LED光源
測量項目
●多層膜厚解析
用 途
●光學薄膜（超硬涂層、AR薄膜、ITO等）
●FPD相關（光刻膠、SOI、SiO2等）
設備構成
單點型
●半導體晶圓的面內分布測量
●玻璃基板的面內分布測量
多點型
●實時測量
●流向品質管理
●真空室適用
導線型
●實時測量
●寬度方向品質管理
測量案例
超硬涂層的膜厚解析
